| 項目簡介 |
本項目為租用長興國家大學(xué)科技園二分部北園8號廠房，通過自主開發(fā)的單片異質(zhì)集成技術(shù)、TSV多層硅片三維垂直互連技術(shù)、微機械MEMS工藝技術(shù)、IPD集成技術(shù)以及先進(jìn)的晶圓級封測和鍵合技術(shù)，購置激光打標(biāo)機、筒式去膠機、槽式清洗機、光刻機、高低溫烘箱、深硅刻蝕機、等離子去膠機、CVD、PVD、單片式金屬腐蝕機、錫膏印刷、助焊劑清洗機、全自動共晶貼片機等生產(chǎn)及輔助設(shè)備，建設(shè)一條具備世界領(lǐng)先水平的高集成度三維異構(gòu)微系統(tǒng)流片線。
本項目產(chǎn)品高集成度三維異構(gòu)微系統(tǒng)流片、GaN流片未列入《危險化學(xué)品目錄》（2015版）中，其生產(chǎn)過程中使用到危險化學(xué)品過氧化氫溶液、硫酸、鹽酸、氨水、氫氟酸、六氟化硫、八氟環(huán)丁烷、氧氣[壓縮的]、氬氣[壓縮的]、三氯化硼、氯氣、氦[壓縮的]、丙酮、乙醇（90%）、異丙醇、氮氣[液化的]、正硅酸乙酯、硅烷、氨、氯化鎳、四甲基氫氧化銨、松香、磷酸、四氟甲烷、光刻膠，故該企業(yè)屬于危險化學(xué)品使用企業(yè)。
根據(jù)《危險化學(xué)品安全使用許可證實施辦法》（國家安全生產(chǎn)監(jiān)督管理總局令第57號）（總局令第79號修訂）規(guī)定，列入危險化學(xué)品安全使用許可適用行業(yè)目錄、使用危險化學(xué)品從事生產(chǎn)并且達(dá)到危險化學(xué)品使用量的數(shù)量標(biāo)準(zhǔn)的化工企業(yè)，需要取得危險化學(xué)品安全使用許可證。本項目屬于集成電路制造（C3963），因此不需要辦理危險化學(xué)品安全使用許可證。
|